1 . 新一代半导体基板平坦化加工设备(CARE设备)的制造销售
CARE设备是利用大阪大学(山内和人教授、佐野泰久准教授)提出的催化剂基准蚀刻法(CARE法),对备受瞩目的电动汽车及高速通信设备中使用的SiC及GaN基板进行原子级平坦化的设备。
向名古屋大学C-TEFs交付的设备
CARE平坦化面(AFM)
P-V:0.731nm
RMS:0.086nm
左图的AB横截面(模式图)
4H-SiC c轴晶格常数:1.008nm
阶差高度:0.252nm
上图的AB横截面(模式图)
4H-SiC c轴晶格常数:1.008nm
阶差高度:0.252nm
可以得到极致的平坦性
CARE法的特征
·仅用水即可加工,即环保又能降低成本
·没有加工变质层,设备性能提升
·利用独有的小振幅运动,将安装面积缩小到四分之一(相比本公司以往产品)
2 . CMP(Chemical Mechanical Polishing)研磨垫相关事业
(1)CMP研磨垫加工设备的制造及受托加工
半导体用晶片研磨中会使用被称为CMP研磨垫的研磨用树脂板,以平坦化为目的的研磨是成本约占基板制造成本30%的重要工序。本公司作为业界顶级制造商,不断满足国内外客户的需求。
研磨垫加工设备的销售
研磨垫的表面、沟槽加工
特殊沟槽加工
(2)CMP研磨垫检测设备
3 . 大型机械零件加工
本公司创业至今的主营业务。擅长加工大型圆形零件,实现最大加工直径5m。
拥有发电用涡轮机及航天器的重要零件加工、明石海峡大桥索夹的机械加工等实绩。
明石海峡大桥:电缆机械加工
世界最长的主桥墩跨度2,000m
线径1,100mm