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再盛エコキャップ®とは、研磨パッドを簡単に回転定盤に貼り付けることができる補助板のことです。お客様ご使用の研磨パッドを、弊社機器により再盛エコキャップ®の中央に貼り付けます。再盛エコキャップ®は、各種研磨パッドのサイズ、研磨機により、サイズ変更等が可能です。
再盛エコキャップ®裏面には、回転定盤から着脱可能な粘着面があります。

剥離紙を剥がして下さい。

回転定盤を拭き、ほこり等を取り除いて下さい。

再盛エコキャップ®を回転定盤に貼り付けて下さい。

研磨開始
再盛エコキャップ®が回転定盤に水平に貼り付けられていることは、既に検証済みです。再盛エコキャップ®の有無が基板に影響を与えないことは、ST, Cea Leti, AMATとの共同研究により立証され、ICPT 2012において研究発表が行われました。
スラリー(研磨液)により、再盛エコキャップ®が変形する等の影響はありません。
・研磨パッドのコストを25%以上削減
・着脱時間を25%短縮
・廃棄物を50%以上削減
・基板の平坦性が10%以上向上
・研磨パッドの再生加工が可能
寿命がつきた研磨パッドを、弊社の切削加工により、再度利用可能な研磨パッドに仕上げます。再生加工した研磨パッドが基板に影響を与えないことは、ST, Cea Leti, AMATとの共同研究により立証され、ICPT 2012において研究発表が行われました。

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